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半导体设备板块震荡回升 盛美上海涨超10%续创历史新高

半导体设备板块日内震荡回升，盛美上海涨超10%，续创历史新高，此前华兴源创20cm涨停，联动科技、中科飞测、拓荆科技、矽电股份、富创精密跟涨。