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消息称三星电子泰勒逻辑厂启动光刻机调试
三星电子位于美国得克萨斯州泰勒市的2nm晶圆厂已进入试运营阶段,EUV光刻机的测试已启动,蚀刻和沉积流程的主要设备也正分阶段导入,为今年内的初步运营和2027年的全面投产做好准备。
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